手动和发动机定位器
我们基于单轴或双轴标准提供一批X、Y、Z线性和旋转轴平台。其行程位于5”到36”之间。这些平台采用横轧辊及回旋滚珠、线性轴承，分辨率为1.0至0.05微米。运动控制系统可单独安装，或基于RS-232, IEEE和PC BUS安装。线性和旋转编码器也有提供。这些系统可用于薄膜厚度测量、纤维光学组装、生物制药等各种精密应用。磁盘驱动器磁头组装以及光罩检测。
